Diaphragm pressure transducer comprising a shock protective system, and gradiomanometer incorporating such a transducer

Capteur de pression à membrane comportant un système de protection anti-choc, et gradiomanomètre incorporant un tel capteur

Membran-Druckwandler mit einer Stossschutzvorrichtung und Dichtemessgerät mit einem solchen Wandler

Abstract

A pressure transducer (sensor) (20) includes a deformable diaphragm (22) which closes off a fluid passage (18) in a leaktight manner. In order to protect the diaphragm (22) against shocks, the passage (18), comprises a constriction (44) whose dimensions are defined so as to limit the pressure peak applied to the diaphragm to a cutoff value which can be withstood by this diaphragm. The constriction (44) may be formed in a removable capillary tube (42) or may be in the form of grooves made in a silicon wafer integrated with the active part of the sensor. <IMAGE>
Un capteur de pression (20) comporte une membrane déformable (22) qui obture de façon étanche un passage de fluide (18). Afin de protéger la membrane (22) contre les chocs, le passage (18) comprend une restriction (44) dont les dimensions sont déterminées de façon à limiter le pic de pression appliqué sur la membrane à une valeur de coupure supportable par cette membrane. La restriction (44) peut être formée dans un tube capillaire démontable (42) ou se présenter sous la forme de rainures réalisées dans une plaquette de silicium intégrée à la partie active du capteur.

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Patent Citations (3)

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